在金屬材料化學分析發展史中，電感耦合等離子體光譜法和質譜法在近幾十年得到廣泛應用，是在物理學研究到原子核階段以后相繼出現的。

1.電感耦合等離子原子發射光譜儀（ICP）是一種新型的原子發射光譜法，工作原理為待測物質被環狀高溫等離子體光源加熱至6000–8000K，待測物質原子產生電子躍遷，從而輻射出特征譜線進行元素含量測定。ICP根據進樣系統的不同又分為固體進樣、液體進樣和氣體進樣三類。ICP要比直讀光譜儀器的檢出限更低，靈敏度高。缺點：對進樣系統要求非常嚴格，無法分析部分難溶和非金屬元素。溶液進樣系統要將試樣做成溶液樣品，此過程要用酸堿溶樣，用時較長。  

2.電感耦合等離子體質譜法是在電感耦合等離子體發射光譜儀的基礎上發展起來的一種較靈敏的元素分析方法。相比于電感耦合等離子體發射光譜儀，增加了一個四極質譜儀，質譜儀分離不同質荷比的激發離子，最后測量各種離子譜峰強度的一種分析方法。

電感耦合等離子體質譜儀主要用于測定金屬材料中的微量元素。優點為操作簡單、測試周期短、靈敏度高。缺點實際檢測成本高制約其廣泛使用，目前主要用于地質學中金屬礦石微量、痕量和超痕量的金屬元素測定。